流量计,流量控制器,高等级控制器
3200系列高等级质量流量控制器
适用于半导体、LCD、燃烧、分析、生物工艺等方面实现高精度的快速控制
流量范围：10～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM
控制阀：常闭，电磁隔膜阀
控制范围：2～100%FS
反应时间：0～100%，小于等于1秒
精度：±1%以内
线性：±0.5%以内
重复性：±0.2%以内
使用压差：范围≤5SLM时，49～294KPA， 5SLM <范围≤20SLM时，98～294KPA
压力限制：980KPA
泄露率：1 × 10–8 Pa?m3/second 或更小
操作温度：0～50°C
接触介质的材质：本体: SUS316L
隔膜: SUS316
阀座: PTFE
密封材料: Byton TM (可选: 氯丁橡胶)
连接：1/4SWL，可选1/8SWL，1/4VCR和1/4RC
电气连接：9针插座
控制信号：0-5VDC
]输出信号：0-5VDC
电源：+15 VDC (±5%) 100 mA ， –15 VDC (±5%) 200 mA