流量计,流量控制器,标准质量控制器
3660系列标准质量流量控制器
在分析设备、真空设备、分析研究等方面取得满意效果实现高精度的快速控制
流量范围：50～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM
控制阀：常闭，电磁隔膜阀
控制范围：2～100%FS
反应时间：0～100%，≤ 2秒
精度：±1.5%以内
重复性：±0.5%以内
使用压差：范围≤5SLM时，49～294KPA
5SLM <范围≤20SLM时，98～294KPA
压力限制：980KPA
泄露率：1×10–8 Pa m3/second 或更小
操作温度：5～45°C
接触介质的材质：本体: SUS316L
阀座: Viton TM (可选: Noeprene TM)
密封材料: Viton TM (可选: Noeprene TM)
连接：1/4SWL，可选1/8SWL，1/4VCR和1/4RC
电气连接：9针插座
控制信号：0-5VDC
]输出信号：0-5VDC
电源：+15 VDC (±5%) 100 mA ， –15 VDC (±5%) 200 mA